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报告题目：高频大功率声表面波器件的AlN/金刚石多层膜制备研究进展
摘要：高频大功率声表面波器件的AlN/金刚石多层膜的研究意义、压电薄膜/金刚石高频 SAWF的原理和结构 、AlN/Diamond多层膜的国内外研究现状 、磁控溅射法制备AlN薄膜中各工艺参数对薄膜性能的影响机理、本人的研究思路、主要研究内容及实验进度安排等。
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Synthesis of c-axis oriented AlN thin films on different substrates: A review
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